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基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法

孙世岭

孙世岭.基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法[J].工矿自动化,2016, 42(4):47-50..  doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011
引用本文: 孙世岭.基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法[J].工矿自动化,2016, 42(4):47-50..  doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011
SUN Shiling. Product process of carrier catalytic methane detection component based on MEMS technology[J]. Industry and Mine Automation, 2016, 42(4): 47-50. doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011
Citation: SUN Shiling. Product process of carrier catalytic methane detection component based on MEMS technology[J]. Industry and Mine Automation, 2016, 42(4): 47-50. doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011

基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法

doi: 10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011
基金项目: 

重庆市煤监局煤炭发展专项资金资助项目(渝煤〔2014〕-kj-09)

中国煤炭科工集团有限公司科技创新基金面上项目(2014MS025)

详细信息
  • 中图分类号: TD712.55

Product process of carrier catalytic methane detection component based on MEMS technology

  • 摘要: 在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试。测试结果表明,基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善。

     

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出版历程
  • 刊出日期:  2016-04-10

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